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HMDS烘箱
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HMDS真空烘箱HMDS涂到樣品表面后,經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結合,增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用
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