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應(yīng)用案例

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HMDS烘箱/涂膠預(yù)處理烘箱/HMDS預(yù)處理烘箱

發(fā)表時(shí)間:2023/10/20 9:46:59

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對(duì)于大部分光刻膠與Si襯底而言,其粘附性一般都是不錯(cuò)的,但是在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問(wèn)題。因此必須通過(guò)工藝手段改善,這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

以石英、玻璃或硅表面的氧化物(自然氧化)的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的,因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上。

HMDS與Si原子在無(wú)氧表面結(jié)合,與氧化基表面的氧原子(如有必要,OH基團(tuán)分解)結(jié)合,釋放出氨。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面,與光刻膠具有良好的潤(rùn)濕性和附著力。

工作原理:

在室溫下,HMDS蒸汽通過(guò)干燥的氮?dú)庠凇捌鹋萜鳌敝羞\(yùn)輸,然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質(zhì)中,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上,HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS層在前烘過(guò)程中釋放出氨,從襯底附近的進(jìn)入交聯(lián)的光刻膠層中,從而抑制顯影過(guò)程。

產(chǎn)品特性:

外觀結(jié)構(gòu):

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,加強(qiáng)型結(jié)構(gòu),確保箱體高壓無(wú)形變。

★工作室高氣密性,氣體泄漏量可達(dá)100pa/h。

★雙層防爆鋼化玻璃觀測(cè)窗,10mm防爆玻璃內(nèi)門。

★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果佳。

★門框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化。

溫控系統(tǒng):

★不銹鋼異性加熱器,環(huán)繞工作室外壁,四面加熱。

★7寸人機(jī)界面,PLC+PID+SSR控制,SSR無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬,PID智能演算,自動(dòng)恒溫,超溫抑制,傳感器斷線警報(bào),斷電記憶,控溫精準(zhǔn),操控簡(jiǎn)便。

★可依工藝設(shè)置多種運(yùn)行模式

高精度級(jí)PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng):

★按鍵鎖

★HMDS液位報(bào)警

★超溫保護(hù)

★電流過(guò)載保護(hù)

★相序保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)


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