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應(yīng)用案例

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潔凈氮氣柜CIN-900

發(fā)表時間:2023/10/17 14:36:30

產(chǎn)品應(yīng)用:

適合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象; 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境,且無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品.

產(chǎn)品特性:

    ★4英寸超高亮數(shù)碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮氣節(jié)約控制系統(tǒng),可加裝報警系統(tǒng)

★無塵風(fēng)機——采用進口無塵室專用FFU風(fēng)機,鍍鋁鋅板材質(zhì),鋁合金葉輪,風(fēng)速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

★雙面護網(wǎng)高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。

★模組化設(shè)計,溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換, 保養(yǎng)及維修簡便,大大提升維護效率。

技術(shù)參數(shù): 

材質(zhì)雙鏡面304不銹鋼

外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

內(nèi)尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

除濕等級: 相對濕度可達到5%Rh以下 (配合充氮氣)

潔凈等級: ISO Class 2(百級) ISO Class 3(千級)

濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH

濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃-9.9℃以下顯示不帶小數(shù)點)

溫濕度顯示器精度: 相對濕度±3%Rh,溫度±1℃

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